气体管路测试之——氦检
在上篇文中，我们知道在气体管路中，为了确保气体管道系统的品质达到一定的水准和满足客户的需求，通常要做五项测试，分别是保压测试、氦气检漏测试、水分测试、氧分测试和颗粒测试，并重点介绍了保压测试。那么在这篇文中小编再给大家介绍另一项测试——氦气检漏测试（氦检）。
众所周知，在元素周期表中，氦（He）的相对分子质量是除氢（H）以外最小的元素，是最轻的惰性气体。因为氢气易燃易爆，显然不适合用它来做检测，氦气属于惰性气体，化学性质稳定，分子质量又小，是检漏的理想气体，气体管道的氦气检漏（氦检）利用的就是这一点。在向被测管道中注入氦气，氦气是除氢气以外最轻的气体，氦气在自然状态下会向上垂直扩散，如果管道中存在漏点，氦气分子小能够轻易进入那些不被肉眼察觉的孔缝中，由此我们就能够通过氦检仪探测出氦气的百分比，进而判断出管道系统的泄漏率是否符合国家标准。
针对我公司半导体行业的客户，为了满足半导体应用的要求，我们产品在出厂前在通过保压测试的基础上，还会做氦检测试。我们的氦检仪器使用的是德国英福康UL1000系列，它通过结合高速氦气抽吸和高进气口压强的最佳真空结构，在室温条件等因素理想的情况下，其最小可检漏率可达≤ 5×10-12毫巴·升/秒，并能提供在所有测量范围中作出极快的漏率响应。
那么我们的测试人员具体是如何操作的呢？
仪器接通电源，约2.5分钟后完成启动过程后进入待用模式，这时将待测试产品连接至进气口，用检漏仪平行设置的附加真空泵对试件抽空，在抽空过程中显示器上随时反映进气口部位的压强情况，一旦压强达到15mb，即切换至测量模式，显示相应的漏率值，显示的漏率相应于测试部件中氦本底浓度，由于氦检仪继续抽空试件，其本底漏率将进一步下降，根据检漏要求，一旦本底漏率足够低时，即可开始在试件周围用带软管的氦气喷枪喷氦，由于存在压差，如果试件存在漏孔，氦气即可渗入试件，只要达到一定的压强条件，通向涡轮分子泵的阀门即打开，此时氦气将逆着涡轮分子泵的抽气方向渗入质谱仪，即可被检测出来。
以上就是我公司产品出厂前做氦检测试的全过程，尽管过程繁杂，但是检测率达100%。我们产品的精度和纯度得到保证，这些测试仅仅是一方面，先进的生产设备，标准化的生产流程，严格的品质把控等等一系列的因素，才得以让我们的产品在业界有良好的口碑，我们始终坚持以安全保障为前提，对品质严格把控，对产品创新不断追求，信创产品，值得您的信赖。
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